日本神視晶圓定位傳感器環(huán)境兼容性
如果您對(duì)該產(chǎn)品感興趣的話,可以
產(chǎn)品名稱: 日本神視晶圓定位傳感器環(huán)境兼容性
產(chǎn)品型號(hào):
產(chǎn)品展商: SUNX
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔
簡單介紹
日本神視晶圓定位傳感器環(huán)境兼容性
投光元件 LED(調(diào)制式)
材質(zhì) 外殼：ABS及SUS301、透鏡： 丙烯
電纜 0.15mm2 5芯橡皮電纜，長300mm
電纜延長 0.15mm2 以上的電纜全長可延長至10m
日本神視晶圓定位傳感器環(huán)境兼容性
日本神視晶圓定位傳感器環(huán)境兼容性
的詳細(xì)介紹
日本神視晶圓定位傳感器環(huán)境兼容性
產(chǎn)品樣本：
實(shí)現(xiàn)0.5ms的*速反應(yīng)。兼顧*速反應(yīng)性和*精度。
基于2段受光元件的*精度位置檢測
利用反射光量檢測時(shí)，反射光量和晶圓的邊緣形狀會(huì)影響檢測結(jié)果。
M-DW1的受光部使用2段受光元件，通過反射光位置而非反射光量進(jìn)行檢測。
因此，受晶圓厚度和反射光量的影響較小。
M-DW1以反射光的位置來檢測，不管反射光量的多少都能檢測出玻璃晶圓。
氮化膜具有可吸收特定波長光的性質(zhì)，吸收的波長因氮化膜的厚度而不同。
因此，對(duì)于使用單波長激光的傳感器，可能會(huì)因光全被吸收而無法檢測。
而LED光源的光具有一定波長段，即使氮化膜晶圓也可準(zhǔn)確檢測。
結(jié)構(gòu)圖：
|
中心測量距離
|
45mm
|
|
檢測物體
|
3英寸以上的半導(dǎo)體晶圓(注2)
|
|
可對(duì)應(yīng)檢測面
|
有受光方向反射面的端面形狀的檢測面(注3)
|
|
檢測角度
|
12.5±5°(注4)
|
|
晶圓間距
|
間距3mm以上時(shí)，可按通常靈敏度進(jìn)行分離檢測(注5)
|
|
適用晶圓盒
|
SEMI規(guī)格FOUP晶圓盒/開放式晶圓盒
|
|
電源電壓
|
12?24V DC±10% 脈動(dòng)P-P10%以下
|
|
消耗電流
|
65mA以下
|
日本神視晶圓定位傳感器環(huán)境兼容性
