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產(chǎn)品資料

正確使用施邁茨干式真空泵

如果您對該產(chǎn)品感興趣的話,可以
產(chǎn)品名稱: 正確使用施邁茨干式真空泵
產(chǎn)品型號: 10.03.01.00142 EVE-TR 40 AC3
產(chǎn)品展商: 施邁茨
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔

簡單介紹

正確使用施邁茨干式真空泵 三葉圓裂片式設(shè)計和雙圓裂片式設(shè)計的原理完全相同,只是在旋轉(zhuǎn)一圈中將氣體分為三份而不是像雙圓裂片式分為兩份。這兩種設(shè)計有著相同的優(yōu)點和缺點。為了進一步降低耗電量,在傳動部分有的選用兩個直流馬達,但這也會導(dǎo)致扭矩減小,重新啟動的能力—下降。同雙圓裂片式設(shè)計一樣,三葉圓裂片式設(shè)計的每**都需要較大流量的氮氣來起到稀釋和隔離作用。 正確使用施邁茨干式真空泵


正確使用施邁茨干式真空泵  的詳細介紹
正確使用施邁茨干式真空泵
干式機械真空泵的應(yīng)用是廣泛的,主要有以下幾個方面:
1)低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中;
2)半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒;
3)除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝,不希望微?;烊氡糜椭校M⒘E懦霰猛?,則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求;
4)在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等,要防止有機溶劑造成污染,適合用干式真空泵;
5)用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵,以防止油污染。
雙圓裂片式設(shè)計和目前流行和廣泛應(yīng)用的羅茨泵非常相似。事實上,一些早期的干泵設(shè)計思想就是將羅茨泵疊加起來。這種多級設(shè)計使得氣體通路相當(dāng)復(fù)雜,并且每**都需要較大流量的氮氣起到稀釋和隔離作用。同時,為了達到*的真空度,對各級的間隙有非常嚴格的要求。當(dāng)然,這種設(shè)計由于增加了內(nèi)部的壓縮比而使得其耗電量相對較低。
干式(無油)真空泵
旋轉(zhuǎn)葉片泵多單元壓縮原理
長久潤滑軸承和強大冷卻風(fēng)扇
多種輸出數(shù)值的型號
效率**的旋轉(zhuǎn)葉片泵
牢固、維修量小
無振動運行,連續(xù)、低脈沖輸出
良*的散熱功能
抽吸量可匹配客戶實際要求

耗電量低、連續(xù)運行經(jīng)濟性*


正確使用施邁茨干式真空泵

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